DC電源の基礎講座

このセミナーで学べること

現代そして未来の産業とテクノロジーを幅広く支える真空技術。『DC電源の基礎』を開講いたします。

真空装置には様々なコンポーネントが使用されます。そして装置で生産する製品によって必要なコンポーネントは変わってきます。
成膜プロセスを行う真空装置においては、膜をつけるために最適な成膜用の電源が基本的に必要になります。
今回は電源の中でも、一番基礎となるスパッタのプロセスにおいて金属膜をつけるのに最適なDC電源の基礎講座です。

アルバックの電源は、装置メーカーならではの目線での開発を続けており、負荷状況の高い環境においても、低い故障率で装置稼働率のアップを実現しています。本講座では、電源の豊富な使用経験と知識をもっている講師が、真空成膜装置の構成や成膜の方法、真空装置を取り巻くキーワードなどの解説からDC電源の役割、選定する上でのポイントまで説明いたします。

・真空装置を構成する電源の役割とは？
・そもそも良いDC電源とは？
・スペックに記載されている内容とポイントは？
・その他、注意すべきことは？気にする必要があることは？

これから『DC電源』を選定を実施する方はもちろん、お使いの『DC電源』が最適かどうか悩まれている方、『DC電源』について基礎から学びたい方にも本講座をオススメいたします。